日本新宇宙(zhou)PS-7復合氣(qi)體檢測(ce)儀可(ke)通過(guo)PDA讀取數據(ju)

日(ri)本新宇宙PS-7復合(he)氣(qi)體檢測儀特點

●  通過更(geng)換傳感(gan)器(qi)就可以(yi)檢測多種氣(qi)體的半導(dao)體材料氣(qi)體檢測器(qi)

●  傳感(gan)器經過校(xiao)準和交付，無需現場(chang)氣體校(xiao)準。此(ci)外，無需工具即(ji)可輕松更換傳感(gan)器

●  小巧·輕(qing)便的設計

●  通(tong)過LCD顯示屏輕(qing)松了解氣體(ti)濃(nong)度，報警狀(zhuang)態和錯誤信息

●  采(cai)樣流(liu)量的自動控制功能

●  當插入(ru)與設置不同的傳感器時(shi)，傳感器具有防止錯誤插入(ru)的功能

●  通過連接PDA，可(ke)以獲取(qu)存儲在(zai)檢測(ce)單元中的(de)數據

●  轉換器(qi)單(dan)元（選(xuan)件）可用于檢(jian)測NF3和(he)CCl2。

●  符合CE標準

●  符合SEMI標準

02.連(lian)接方式

日(ri)本新宇(yu)宙PS-7復合(he)氣體檢測(ce)儀參(can)數

※1. 推薦使(shi)(shi)用(yong)特氟龍。但是如果是吸附性較強的(de)氣體(ti)時(shi)，根據(ju)使(shi)(shi)用(yong)情(qing)況的(de)不同也將有所(suo)差異，因此，請(qing)向本公司(si)進行(xing)咨詢。產品有可(ke)能(neng)改進而對上述規格進行(xing)修改，對此恕不預先通(tong)知用(yong)戶。

※2. 僅限于附(fu)帶轉換器件的產(chan)品。

04.對應氣(qi)體一覽表