密析爾 Pura 高純(chun)氣露點變送器/在線露點儀

在很多超純氣應用，諸如半導體工業中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppb_V)。

Pura 變送器是基(ji)于密析爾儀(yi)表多年在阻抗露點傳感(gan)器生產和校驗的(de)(de)專業經(jing)驗，結合標(biao)準工業化的(de)(de)材料(liao)和制造(zao)(zao)流程，打造(zao)(zao)出的(de)(de)適用于半導(dao)體(ti)(ti)制造(zao)(zao)行業和超純氣體(ti)(ti)應(ying)用的(de)(de)低價(jia)位變送器。

Pura高純氣體露點變送器
這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器，專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。
Pura使用和安裝簡單，可選兩線制、三線制和危險區域的型號，是一款*可自定義的產品，可以滿足各種特殊需求。

亮點

• 測量下限 -120°C 露點 (1 ppb_V)
• 測量穩(wen)定，重(zhong)復性好
• 高度集成的采樣(yang)裝置
• 模擬和數字輸出
• 安裝(zhuang)簡便
• VCR 過程接(jie)口
• 設計緊湊小(xiao)巧
• 顯示(shi)/報警(jing)單元可(ke)選

高純氣體微量露點變送器
在許多高純氣體的應用中，如半導體行業，氣體的殘留水分對于工藝操作的影響是至關重要。
根據以往的經驗，微量水分測量一直是一個難題，這需要使用復雜或昂貴的分析儀測量。現在，密析爾推出了一款簡單、經濟的產品，可以在線測量露點達-120°C （小于1ppb）。
Pura露點變送器的優勢在于密析爾阻抗傳感器生產和校準的經驗和專長。工業標準材料和制造工藝結合的低成本變送器，適用于大規模集成半導體制造廠或高純氣體管線中。

使用簡單
這種獨立的變送器設計成可無縫接入純氣的過程應用中，并可提供可靠的測量結果。
Pura的傳感器外殼是由冷拉不銹鋼制成，內部采用0.25Ra μm，以達到小的吸濕性，潔凈度達到清潔室標準。
該變送器交付完整的校準和操作，并提供4-20mA的校準輸出，能夠連接到密析爾的顯示模塊或中央控制系統。
該產品的設計具有小的內部結構。這確保了過程應用中kuai的響應速度，也保證了濕度測量時(shi)的kuai響應速度。傳感器密封墊(dian)圈可以在(zai)小壓力10-9torr內工(gong)作(zuo)，同(tong)時(shi)整個系(xi)統可承受的da壓力為(wei)240 Barg (3480 psi)。

安裝和操作簡便
Pura安裝簡單。¼”外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm，符合標準。整個產品的高度僅為150mm，重量小于500g。Pura是一個兩線或三線制的變送器，提供da的操作靈活性和12-28V直流電源的供(gong)電。

可選的顯示
假如應用中需要顯示露點值或濕度值，Pura可以提供兩種顯示。顯示器可以很容易連接，也可以作為Pura的電源。

服務與校準
密析爾為想要少停機時間和設備可追溯性的用戶提供以下兩種服務：
傳感器替換 –用戶可以簽訂一個有保障的合同，可以更換傳感器。當傳感器出現問題時，可以把更換下來的傳感器返回密析爾檢測，從而實現零停機時間。

校準(zhun) – 用戶將傳感器(qi)返(fan)回密(mi)析(xi)爾，密(mi)析(xi)爾會對(dui)返(fan)回的傳感器(qi)進行檢查和(he)校準(zhun)。這(zhe)樣為過程中的傳感器(qi)就可以實現可追溯性(xing)。

陶瓷阻抗傳感器
Pura采用阻抗技術，是基于水分子的導電性。密析爾的陶瓷濕度傳感器采用具有的厚薄膜技術。
在半導體化的陶瓷基底上，均勻的敷涂了金屬導電層。導電層之間的感濕層能感受到氣體樣品中的水蒸氣分壓。水氣分壓決定了水分子進入感濕層的水分子的數量，即對應于導電層之間的阻抗值。露點值和水氣分壓有一一對應關系。經過校驗，阻抗值和露點值的對應關系建立起來，被儲存在變送器的芯片中。
傳感器采用半導體極的陶瓷材料作為基底，給予傳感器*的結構強度和均勻特性。使密析爾濕度傳感器具備其他氧化鋁傳感器所*的穩定性。